“삼성, 일본이 수출 규제 강화한 포토레지스트 벨기에서 확보”

　삼성전자가 일본이 한국에 대한 수출 규제를 강화한 극자외선(EUV)용 포토레지스트(감광제)의 대체 조달처를 확보했다는 언론 보도가 나왔다. 삼성은 “맞다, 아니다 말하기 어렵다”며 보도를 부인하지 않았다. 일본 정부는 지난달 4일부터 한국으로 수출하는 포토레지스트, 고순도 불화수소(에칭가스), 불화폴리이미드 등 반도체·디스플레이 3개 소재 품목에 대한 수출규제를 강화했다.
　삼성전자 전 간부인 박재근 한양대 교수는 11일 닛케이 아시안 리뷰와의 인터뷰에서 삼성전자가 벨기에에 본부를 둔 회사로부터 포토레지스트를 조달하고 있다고 밝혔다. 박 교수는 회사 이름을 밝히지 않았지만, 2016년 일본의 화학회사 JSR과 벨기에의 연구센터 IMEC가 설립한 합병회사로 보인다고 닛케이는 전했다. 이 합병회사는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR 마이크로가 대주주인 것으로 알려졌다.
　박 교수에 따르면 삼성은 6~10개월분의 포토레지스트를 구입해, 최첨단 반도체칩을 제조하는 공정에서 사용하고 있다. 박 교수는 “일본의 수출규제의 영향은 한정적일 것”이라고 말했다. 삼성은 벨기에로부터의소재 조달 여부에 대해 답변을 하지 않았지만 “일본의 수출규제에 대처하기 위해 서플라이어(공급자)를 다양화하고 있다”고 밝혔다고 닛케이는 전했다.
　JSR에 정통한 소식통은 이 조치 후인 지난달 중순 “우리는 포토레지스트를 벨기에에 있는 합작회사를 통해 삼성에 공급할 것”이라며 “IMEC와 손을 잡음으로써 EUV용 포토레지스트를 그곳에서 생산할 수 있을 것”이라고 말했다고 닛케이는 전했다.
　이에 삼성전자 관계자는 벨기에에서 포토레지스트를 들여오는 것과 관련, “맞다, 아니다 말하기 어렵다”고 했다. 다만 “포토레지스트는 지난 주 일본에서 한 차례 수출 허가가 나와서 조달 가능성이 있다보니 내부적으로 위기감은 덜하다”고 분위기를 전했다. EUV 포토레지스트는 7nm(나노미터) 이하 비메모리 반도체용 첨단 미세공정에 쓰이는 것으로, 현재 삼성전자에서 시급한 소재라기보다는 미래사업용으로 더 중요하다.
　삼정전자는 그러면서 수출 허가가 떨어지지 않은 다른 소재들을 거론하며 안심할 상황은 아니라고 선을 그었다. 삼성전자 측은 “에칭가스는 여전히 수출이 원활하지 않은 상황으로 아직 마음을 놓을 수 없는 상황”이라고 밝혔다. 삼성은 약 3개월치 안팎의 에칭가스 재고를 가진 것으로 추산된다.
　이런 가운데 일본의 반도체·디스플레이 소재 제조회사들이 일본 바깥에서 생산을 늘리는 등 대책을 마련하려는 움직임이 나타나고 있다. 모리타화학공업은 중국의 합병회사에서 에칭가스)의 생산을 시작, 삼성전자 중국 공장이나 중국의 반도체 회사 등에 납입하고, 요청이 있으면 한국에도 출하할 예정이라고 닛케이는 전했다. 도쿄오카공업도 EUV용 레지스트를 한국 공장에서도 생산해 한국 기업에 납입할 계획이다.